从激光器发出的光束，第三方热学计量检测经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时，干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号，经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由电子计算机按计算式[356-11]式中λ为激光波长(N为电脉冲总数)，热学计量检测服务算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干涉仪时，要求周围大气处于稳定状态，各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。

1.热学计量检测操作人员应进行必要的技术培训，取得上岗证书，熟悉仪器的使用说明书，了解工作性能、附件的作用及用法，严格按操作规程操作。2.仪器的使用环境如温度、湿度、防磁埸、防震、防潮、防尘条件应符合规定要求。定期进行保养，如工作导轨工作面应上油，电器应定期通电等，防锈、防霉变措施正确。除仪器的专业维修人员外，任何人不得任意拆装、调整，第三方热学计量检测有封印的部位的封记不得破坏，以免破坏仪器的性能。仪器使用结束，对有可能影响仪器性能的部位如手接触非油漆部位等进行必要的保养，切断工作电源，做好交班记录。

激光干涉仪主要特点：1.同时测量线性定位误差、直线度误差（双轴）、偏摆角、俯仰角和滚动角；2.设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器；3.可选的无线遥控传感器长的控制距离可到25米；4.第三方热学计量检测可测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性；5.全套系统重量仅15公斤，设计紧凑、体积小，测量机床时不需三角架；6.集成干涉镜与激光器于一体，简化了调整步骤，减少了调整时间；7、激光干涉仪可以同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角等，以及测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性等；8、热学计量检测服务激光干涉仪的光源——激光，具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点；9、激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来使用；

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